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HMDS預處理系統有哪些優點你清楚嗎?

更新時間:2020-09-17   點擊次數:2526次
  HMDS預處理系統的必要性:在半導體生產工藝中,光刻是至關重要的一個工藝環節,而涂膠工藝的好壞,直接影響到光刻的質量。涂膠工藝中的一種叫Hexamethyldisilazane(HMDS)化學制劑,化學名稱叫六甲基二硅氮 甲烷,即HMDS。把它涂到硅片表面后,通過加溫可反應生成以硅氧烷為主題的起表面活性劑作用的化合物,它成功地將硅片表面由親水變為疏水,其疏水基可很好地與光刻膠結合,起到耦合的作用。在顯影的過程中,增強了光刻膠與基底的粘附力,從而有效地抑制刻蝕液進入掩模與基底的側向刻蝕。但隨著光刻線條的越來越細,膠的越來越薄,對粘附力提出了更高的要求,于是我們研制出了現在的HMDS烘箱。
 
  HMDS預處理系統的優點:
 
  1、預處理性能更 好,由于是在經過數次的氮氣置換再進行的HMDS處理,所以不會有塵埃的干擾,再者,由于該系統是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝,同一個容器中進行,晶片在容器里先經過100℃-200℃的去水烘烤,再接著進行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機會大大降低,所以有著更 好的處理效果等。
 
  2、處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態涂布不可比擬更 好的均勻性。
 
  3、效率高。液態涂布是單片操作,而本系統一次可以處理多達4盒的晶片。
 
  4、更加節省藥液。實踐證明,用液態HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統處理4盒晶片所用藥液還多;
 
  5、更加環保和安全,HMDS是有毒化學藥品,人吸入后會出現反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整個過程是在密閉的環境下完成的,所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾氣是直接由機械泵抽到尾氣處理機,所以也不會對環境造成污染。

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