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納米陶瓷材料表面疏水HMDS處理系統
納米陶瓷材料表面疏水HMDS處理系統

納米陶瓷材料表面疏水HMDS處理系統生產工藝周期短,提高生產效率; 修飾液用量極少,節約成本90%; 閉環的工藝過程,安全系數高。

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可程式HMDS真空 烘箱  HMDS真 空烘箱
可程式HMDS真空 烘箱 HMDS真 空烘箱

可程式HMDS真空 烘箱 HMDS真 空烘箱 用于光刻膠粘合的 HMDS 氣相沉積 晶圓基底脫水烘烤

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HMDS氣相成底膜烘箱  真空HMDS氣相烘箱
HMDS氣相成底膜烘箱 真空HMDS氣相烘箱

HMDS氣相成底膜烘箱 真空HMDS氣相烘箱在晶圓上行噴涂hmds預處理的工藝,將晶圓表面親水性的置換為疏水性的,使晶圓表面接觸角達到65或更高。

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HMDS預處理機H-2  智能HMDS真空烘箱
HMDS預處理機H-2 智能HMDS真空烘箱

HMDS預處理機H-2 智能HMDS真空烘箱為半導體應用的光刻膠粘合促進劑工藝設備,

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掩膜版HMDS真空烘箱    hmds烤箱
掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱

掩膜版HMDS真空烘箱 hmds烤箱使基底表面由親水性變為疏水性,增強表面的黏附性(HMDS-六甲基二硅胺烷)。適用于硅片、麟化銦、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料。

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HDMS烘箱  HDMS真空烘箱  HDMS預處理烘箱
HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS預處理烘箱

HDMS烘箱 HDMS真空烘箱 HDMS預處理烘箱保護裝置:緊急停止,HMDS藥液泄漏報&警提示,HMDS低液位報&警,超溫保護,漏電保護,過熱保護等

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HMDS真空系統 HMDS預處理系統 圖像反轉烘箱
HMDS真空系統 HMDS預處理系統 圖像反轉烘箱

HMDS真空系統 HMDS預處理系統 圖像反轉烘箱可快速、均勻、經濟高效地用六甲基二硅烷 (HMDS) 對晶圓表面進行底漆處理,從而改善光刻膠的附著力。

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