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HMDS烘箱,hmds預處理烘箱

HMDS烘箱,hmds預處理烘箱

簡要描述:

將HMDS涂到樣品表面后,經烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物,將樣品表面由親水性變為疏水性,此疏水性能HMDS烘箱,hmds預處理烘箱夠很好的與光刻膠結合,增加了樣品表面與光刻膠的粘附作用。

將HMDS涂到樣品表面后,經烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物,將樣品表面由親水性變為疏水性,此疏水性能夠很好的與光刻膠結合,增加了樣品表面與光刻膠的粘附作用。

HMDS烘箱,hmds預處理烘箱系統結構:

整個系統由加熱、真空系統、充氮、加藥和控制模塊等5部分組成

 

加熱模塊

    由于工藝的整個過程都需要在150左右的環境下進行,所以自始至終加熱都在工作

    本系統采用在腔內分布兩塊獨立的熱板來實現加熱,每個熱板都采用人工智能PID調節儀實現閉環控制,調節儀控制固態繼電器的輸出從而實現溫度的精確穩定控制,測溫采用通用的高精度熱敏電阻Pt100

真空模塊

   由機械泵、真空組件、真空測量等組成,主要作用是置換氣體和抽走剩余HMDS蒸汽

充氮模

   作用是在置換過程中,用氮氣來逐漸稀釋空氣或藥液蒸汽,從而zui終替換空氣或藥液蒸汽的氣氛

   主要由氮氣源、控制閥和噴頭組成

HMDS烘箱,hmds預處理烘箱控制模塊

    控制模塊是本系統的核心模塊,它的作用是控制各個模塊的動作和時序,完成整個工藝過程它主要由人機界面,CPU控制中心,控制接口和輸出部件,報警等5部分組

  人機界面采用φ100mm松下觸摸屏來實現參數、狀態等界面的顯示和參數的設定輸入。PLC采用松下的FP0系列小型化PLC

軟件組成

整個控制軟件共分4個部分,即自動運行、手動控制、參數設定、幫助

當按下自動運行鍵后,畫面轉換到運行畫面,顯示當前的工藝狀態,運行時間等,同時系統開始運行。

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