芯片無塵無氧烤箱，可編程無塵烘箱概述

應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業(yè).

芯片無塵無氧烤箱，可編程無塵烘箱技術參數(shù)

?主要技術指標

Ø  材質：外箱采用優(yōu)質不銹鋼，內箱采用SUS304不銹鋼

Ø  溫度范圍：RT+10-200℃，使用溫度≤150℃

Ø  溫度分辨率：0.1℃

Ø  溫度波動度：＜±1℃

Ø  溫度均勻度：≤±2%

Ø  潔凈度：class 100，設備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環(huán)境

Ø  升溫時間：5-8℃/min，（空箱測試）

Ø  降溫時間：可滿足130℃-50℃，降溫5℃/min（空箱測試）

Ø  氧含量

(配氧含量分析儀)高溫狀態(tài)氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量

低溫狀態(tài)氧含量：≤ 50ppm +氣源氧含量

Ø  數(shù)據(jù)輸出：溫度和氧含量無紙記錄儀

系統(tǒng)結構

Ø  熱風循環(huán)系統(tǒng)：采用進口覆套式電熱器（SHEATHED HEATER）無塵無氧化電熱發(fā)生器

箱體后部裝有離心循環(huán)風機、氮氣進氣口和排氣口，離心風機將箱內加熱的熱風與進氣口的新鮮氮氣混合，一部分氣體混合烘干處理產生的廢氣物從排氣口排出，大部分氣體進入箱體兩側的循環(huán)風道，攜帶加熱器產生的熱量，進入箱體內對產品進行加熱烘烤，然后由離心風機重新吸回，從而往返循環(huán)

Ø  氣體系統(tǒng)：愛美克H.E.P.A，(特殊風道設計)過濾效果可達99.99%,Class100

箱體內裝有氧含量分析儀，全稱檢測氧含量，并記錄數(shù)據(jù)排氣口采用自動風門設計以達到強烈的循環(huán)效果及快速降溫，進氣口加附N2流量計控制進氣量，入氣口10mm氧含量可達到40PPM以下

Ø  水冷系統(tǒng)：翅片式水冷散熱器，當箱體內部溫度低于200℃時，冷卻水通過散熱器快速帶走更多的熱量，使得箱內溫度快速下降，縮短降溫時間，提高生產效率水冷電機，設有低水壓報警，防止電機過熱損壞水套水冷，設有低水壓報警，防止密封圈過熱損壞及老化

Ø  溫控系統(tǒng)：采用日本RKC-PF900溫度控制器，內置斜率設定、PID自整定、高溫上限報警、熱電偶失效指示等多種功能采用日本橫河六通道巡回檢測，有紙記錄儀，可將烤箱內實時環(huán)境溫度進行檢測打印

Ø  軟件系統(tǒng)：控制系統(tǒng)采用日本三菱公司FX3G系列高速型邏輯控制器，可與現(xiàn)場總線聯(lián)機遠程操控