圖像翻轉烘箱，光刻圖形反轉設備工藝原理：

    光刻圖形反轉是一種特殊的工藝，用于制作?半導體器件。在曝光結束后，光刻膠中的圖像與想要得到的圖像是相反的，即曝光區域在顯影后會形成孔洞而不是島區。這種工藝主要用于制作孔洞結構，通過改變曝光區域和非曝光區域的相對分解率來實現。

圖像翻轉烘箱，光刻圖形反轉設備的應用：

    光刻圖形反轉工藝主要用于剝離過程，特別是在柔性電極、電極的制作以及其他一些MEMS器件工藝中。通過底切側壁形態，可以防止沉積的材料在光刻膠邊緣和側壁上形成連續薄膜，有助于獲得干凈的剝離光刻膠結構。

光刻圖形反轉設備的性能：