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抗粘劑蒸鍍機(jī) 硅烷鍍膜機(jī)  氣相沉積系統(tǒng)

抗粘劑蒸鍍機(jī) 硅烷鍍膜機(jī) 氣相沉積系統(tǒng)

簡要描述:

抗粘劑蒸鍍機(jī) 硅烷鍍膜機(jī) 氣相沉積系統(tǒng)

硅烷偶聯(lián)劑(HMDS六甲基二硅胺烷、乙烯基三甲氧基硅烷、PFTS三濾硅烷等)作為一類重要的有機(jī)硅化合物,在材料表面改性、復(fù)合材料增強(qiáng)、涂層制備等眾多領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。

抗粘劑蒸鍍機(jī) 硅烷鍍膜機(jī)  氣相沉積系統(tǒng)

    硅烷偶聯(lián)劑(HMDS六甲基二硅胺烷、乙烯基三甲氧基硅烷、PFTS三濾硅烷等)作為一類重要的有機(jī)硅化合物,在材料表面改性、復(fù)合材料增強(qiáng)、涂層制備等眾多領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。

應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體:晶圓光刻前疏水性處理、掩膜板疏水性處理、LED芯片工藝、藍(lán)寶石、貴金屬、硅片、磷化銦lnP、砷化鎵GaAs、鈮酸鋰LiNbO?、硫化鋅ZnS、掩膜版、玻璃、石英片、藍(lán)寶石、晶圓、碳化硅等第三代、第四代半導(dǎo)體材料等。平板顯示器:用于大規(guī)模生產(chǎn)高性能顯示面板。 太陽能電池:提高薄膜太陽能電池的生產(chǎn)效率和性能。航空航天新材料:陶瓷纖維板材疏水性處理。手機(jī)平板:抗指紋、防水處理等。納米壓印:納米壓印脫模階段。


抗粘劑蒸鍍機(jī) 硅烷鍍膜機(jī)  氣相沉積系統(tǒng)性能

內(nèi)部容積: 20-5000L

材質(zhì): 外箱冷軋板烤漆或優(yōu)質(zhì)SUS#304不銹鋼,內(nèi)腔采用316L不銹鋼

控制方式:人機(jī)界面+PLC

溫度范圍 :RT-450℃

波動(dòng)度 :≤±0.5

真空度: ≤1torr

電源及總功率 :220V/380V   

真空泵 :無油泵

  

半導(dǎo)體設(shè)備廠商上海雋思儀器,硅烷氣相沉積設(shè)備、精密熱板、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)烘箱智能型HMDS真空預(yù)處理系統(tǒng)烘箱、MSD超低濕烘箱、無塵烘箱、潔凈烘箱,氮?dú)夂嫦洹o氧烘箱、無塵無氧烘箱、真空烘箱、真空儲(chǔ)存柜、超低溫試驗(yàn)箱、超低濕試驗(yàn)箱等環(huán)境可靠性設(shè)備。

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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司主要經(jīng)營優(yōu)質(zhì)的抗粘劑蒸鍍機(jī) 硅烷鍍膜機(jī) 氣相沉積系統(tǒng)等,歡迎來電咨詢抗粘劑蒸鍍機(jī) 硅烷鍍膜機(jī) 氣相沉積系統(tǒng)詳細(xì)資料等信息
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