久久久精品免费热线观看-久久久精品免费视频-久久久精品视频免费观看-久久久精品午夜免费不卡-亚洲第一区在线观看-亚洲第一色视频

產(chǎn)品中心您的位置:網(wǎng)站首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > HMDS烘箱 > HMDS烤箱 > JS-HMDS30實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱 小型HMDS處理烤箱
實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱  小型HMDS處理烤箱

實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱 小型HMDS處理烤箱

簡(jiǎn)要描述:

實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱 小型HMDS處理烤箱解決光刻膠附著力不足問(wèn)題,同時(shí)增強(qiáng)光刻圖形的完整性.

實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱  小型HMDS處理烤箱的重要作用

   晶片產(chǎn)品的表面通常是親水的,因?yàn)閺沫h(huán)境濕度中吸附了一層水。為了使光刻膠具有適當(dāng)?shù)母街Γ枰贡砻娓呤杷裕愿玫嘏c光刻膠的化學(xué)性質(zhì)相匹配。

1. 解決光刻膠附著力不足問(wèn)題

產(chǎn)品表面的自然氧化層:暴露在空氣中的硅片會(huì)形成約 1-2nm 厚的 SiO?層,其表面富含羥基(-OH),具有強(qiáng)親水性。而光刻膠(尤其是化學(xué)增幅型光刻膠)多為疏水性樹(shù)脂,直接旋涂時(shí)會(huì)因表面能不匹配導(dǎo)致 “去濕"(dewetting)現(xiàn)象,形成針孔或島狀缺陷。

HMDS 的改善效果:通過(guò)表面硅烷化處理,使硅片表面接觸角從~40° 提升至65°-80°(接近光刻膠的接觸角),確保光刻膠均勻鋪展并形成連續(xù)膜層。實(shí)驗(yàn)表明,使用 HMDS 后,光刻膠的附著力可提高 3-5 倍,在后續(xù)顯影、刻蝕過(guò)程中不易脫落

2. 增強(qiáng)光刻圖形的完整性

細(xì)線條工藝中的關(guān)鍵作用:在 28nm 以下工藝節(jié)點(diǎn),光刻膠線條寬度減小至亞微米級(jí),邊緣應(yīng)力集中效應(yīng)加劇,若無(wú) HMDS 處理,顯影時(shí)極易發(fā)生線條坍塌(Line Collapse)。例如,在 193nm 浸沒(méi)式光刻中,使用 HMDS 可使 50nm 線寬的抗坍塌能力提升 20%。

深孔 / 溝槽結(jié)構(gòu)的填充優(yōu)化:對(duì)于 3D NAND 等具有高深寬比(>20:1)結(jié)構(gòu)的器件,HMDS 可降低光刻膠在孔底的接觸角,避免填充空洞(Void)形成,提高圖形轉(zhuǎn)移質(zhì)量。

實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱  小型HMDS處理烤箱的主要功能

HMDS 涂覆:采用蒸汽涂覆(Vapor Prime)將 HMDS 均勻覆蓋在產(chǎn)品表面;

烘烤固化:通常在 100-150°C 下烘烤 60-500 秒,促進(jìn)化學(xué)反應(yīng).


容積:300×300×300可定制(mm)(2-12寸產(chǎn)品兼容)

材質(zhì):外箱采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼制作,內(nèi)箱采用 316L 醫(yī)用級(jí)不銹鋼

溫度范圍:RT+20-200℃

真空度:≤1torr

自動(dòng)化:彩色觸摸屏人機(jī)交互,一鍵運(yùn)行

HMDS控制:可控制HMDS 藥液添加量

真空泵:無(wú)油渦旋真空泵

HMDS烤箱選配功能:


HMDS藥液泄漏報(bào)警提示功能

HMDS低液位報(bào)警提示功能

工藝數(shù)據(jù)記錄功能

程序鎖定保護(hù)等功能


COPYRIGHT @ 2016 網(wǎng)站地圖    滬ICP備16022591號(hào)-1   

上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司主要經(jīng)營(yíng)優(yōu)質(zhì)的實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱 小型HMDS處理烤箱等,歡迎來(lái)電咨詢實(shí)驗(yàn)室HMDS專用烘箱 小型HMDS處理烤箱詳細(xì)資料等信息
地址:上海奉賢臨海工業(yè)園區(qū)818號(hào)
主站蜘蛛池模板: 国产精品夜夜春夜夜爽 | www.色偷偷| 婷婷综合丁香 | 天天视频官网天天视频在线 | 岛国片免费 | 国产羞羞事1000部在线观看 | 久久国产亚洲偷自 | 99精品网 | 精品视频在线观看免费 | 国产精品亚洲欧美一区麻豆 | 明星大侦探第四季免费可投屏 | 亚洲手机在线手机观看高清hd | 青青草原.comav | 午夜久久久久久网站 | 三级在线观看视频网站 | 亚洲tv精品一区二区三区 | 高清不卡视频 | 香蕉成人国产精品免费看网站 | h网站亚洲| 五月婷婷视频在线观看 | 看黄色片网站 | 亚洲精品国产手机 | 国产每日更新 | 女人18毛片a级毛片一区二区 | 国产一级免费片 | 高清中文字幕在线 | 欧美大陆日韩一区二区三区 | 成年女人免费毛片视频永久 | 四虎国产精品成人永久免费影视 | 久久这里只精品热免费99 | 免费看h黄动漫网站网址 | 久久国内精品视频 | 日本精品1在线区 | 一个人的视频免费在线观看 | 免费在线不卡视频 | 激情综合六月 | 成人性欧美丨区二区三区 | 91麻豆国产在线 | 国产亚洲精品自在久久77 | 91影| 天天se天天cao综合网蜜芽 |