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HMDS烘箱的價格,HMDS預處理系統的性能

HMDS烘箱的價格,HMDS預處理系統的性能

簡要描述:

HMDS預處理系統通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。

HMDS真空烘箱技術參數:

電源電壓:AC 220V±10%/50Hz±2%

輸入功率:2400W

控溫范圍:RT+10℃-250℃

溫度分辨率:0.1℃

溫度波動度:±0.5℃

達到真空度:133Pa

容積:90L

工作室尺寸(mm):450*450*450

載物托架:2塊

時間單位:min

二、HMDS真空烘箱特點:

1、 采用醫用級不銹鋼316L材質制造,內膽為不銹鋼316L;加熱器均勻分布在內膽 

    外壁四周,內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀 

    察工作室內物體一目了然。

2、 箱門閉合松緊能調節,整體成型的硅橡膠門封圈,確保箱內高真空度。

3、 微電腦智能控溫儀,具有設定,測定溫度雙數字顯示和PID自整定功能,控溫 

    精確,可靠。

4、 智能化觸摸屏控制系統配套進口PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序, 

    溫度,真空度及每一程序時間。

5、 HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計,真空箱密封性能佳,確保HMDS氣體無外 

    漏顧慮。

6、 整個系統采用優質材料制造,無發塵材料,適用100 級光刻間凈化環境。

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