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智能型HMDS烘箱,全自動(dòng)HMDS預(yù)處理系統(tǒng)
智能型HMDS烘箱,全自動(dòng)HMDS預(yù)處理系統(tǒng)

智能型HMDS烘箱,全自動(dòng)HMDS預(yù)處理系統(tǒng)預(yù)處理性能更好,更加均勻;效率高,一次可以處理多達(dá)4盒的晶片;更加節(jié)省藥液;低液報(bào)警、防藥液泄漏等具有很強(qiáng)的安全保護(hù)功能;,有可自動(dòng)吸取添加HMDS功能,智能型的程式設(shè)定,一鍵完成作業(yè)。

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藍(lán)寶石增粘烘箱, HMDS烘箱
藍(lán)寶石增粘烘箱, HMDS烘箱

藍(lán)寶石增粘烘箱, HMDS烘箱將HMDS涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。

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HMDS烘箱原理,2-12寸晶圓預(yù)處理烘箱
HMDS烘箱原理,2-12寸晶圓預(yù)處理烘箱

HMDS烘箱原理,2-12寸晶圓預(yù)處理烘箱通過(guò)對(duì)烘箱 HMDS 預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間 等參數(shù)的編輯,可以在硅片、基片表面均勻涂布一層 HMDS,降低了 HMDS 處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量, 提高光刻膠與硅片的黏附性。

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HMDS烘箱,hmds預(yù)處理烘箱
HMDS烘箱,hmds預(yù)處理烘箱

將HMDS涂到樣品表面后,經(jīng)烘箱加溫可生成硅氧烷為主的化合物,將樣品表面由親水性變?yōu)槭杷裕耸杷阅蹾MDS烘箱,hmds預(yù)處理烘箱夠很好的與光刻膠結(jié)合,增加了樣品表面與光刻膠的粘附作用。

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HMDS烤箱機(jī)臺(tái),HMDS預(yù)處理烘箱
HMDS烤箱機(jī)臺(tái),HMDS預(yù)處理烘箱

HMDS烤箱機(jī)臺(tái),HMDS預(yù)處理烘箱箱體外殼采用高級(jí)不銹鋼制作,內(nèi)膽為316L醫(yī)用不銹鋼材料制成;加熱器均勻分布在內(nèi)膽外壁四周,內(nèi)膽內(nèi)無(wú)任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀察工作室內(nèi)物體一目了然。

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HMDS真空烘箱處理系統(tǒng)
HMDS真空烘箱處理系統(tǒng)

HMDS真空烘箱處理系統(tǒng):性能更好,由于是在經(jīng)過(guò)數(shù)次的氮?dú)庵脫Q再進(jìn)行的HMDS處理,所以不會(huì)有塵埃的干擾,再者,由于該系統(tǒng)是將“去水烘烤“和HMDS處理放在同一道工藝,同一個(gè)容器中進(jìn)行,晶片在容器里先經(jīng)過(guò)100℃-160℃的去水烘烤,再接著進(jìn)行HMDS處理,不需要從容器里傳出,而接觸到大氣,晶片吸收水分子的機(jī)會(huì)大大降低,所以有著更好的處理效果。

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HMDS預(yù)處理烘箱價(jià)格
HMDS預(yù)處理烘箱價(jià)格

HMDS預(yù)處理烘箱價(jià)格:處理更加均勻,由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液態(tài)涂布不可比擬更好的均勻性。

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