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硅片充氮烘箱,半導體充氮烤箱 工業烘箱

硅片充氮烘箱,半導體充氮烤箱 工業烘箱

簡要描述:

硅片充氮烘箱,半導體充氮烤箱是一種提供高溫凈化環境的特殊潔凈烘干設備。烘箱整機為不銹鋼結構,全部采用無塵材料,箱內持續充氮,使烘箱工作室內處于潔凈狀態。工作室內溫度由溫控儀自動控制,并有自動恒溫及時間控制裝置,并附設有超溫自動停電及報警電路,控制可靠,使用安全。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫藥、實驗室等生產及科研部門。

硅片充氮烘箱,半導體充氮烤箱概述

硅片充氮烘箱,半導體充氮烤箱是一種提供高溫凈化環境的特殊潔凈烘干設備。烘箱整機為不銹鋼結構,全部采用無塵材料,箱內持續充氮,使烘箱工作室內處于潔凈狀態。工作室內溫度由溫控儀自動控制,并有自動恒溫及時間控制裝置,并附設有超溫自動停電及報警電路,控制可靠,使用安全。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫藥、實驗室等生產及科研部門。

特點

1、全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產生器,防機臺本身產生微塵;
2、耐高溫,可以達到和工作場所同樣的潔凈等級;

技術參數

1、主要技術指標

Ø  溫度范圍: RT(室溫)+10~200℃;

Ø  溫度偏差:≤±2.0℃;

Ø  升溫速度:≥2℃/min;

Ø  潔凈等級:千級以上

Ø  計時功能:具有獨立的計時器,計時開關,計時報警器

2、箱體結構

Ø  箱體材料:外箱采用優質冷軋板烤漆;

Ø  內室材料:采用SUS304#無磁性鏡面不銹鋼;

Ø  保溫材料:超細玻璃棉;

Ø  排 氣 口:ф50;

Ø   隔 板:2層,不銹鋼方通,承重約30KG;

Ø  空氣循環裝置:大容量軸流電機;

Ø  加熱方式:不銹鋼電加熱器;

3、溫控系統

Ø  溫度測量傳感器:Pt100 鉑電阻;

Ø  控制儀表:日本富士溫度控制器,PID調節,控制精度0.1℃;

Ø  超溫保護儀表:獨立于工作室主控制的超溫保護系統,保證試驗品的安全;

Ø  控制系統:主要電器件均采用施耐德、歐姆龍等進口元氣件

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