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硅片充氮烘箱,可程式充氮烤箱 工業烘箱

硅片充氮烘箱,可程式充氮烤箱 工業烘箱

簡要描述:

硅片充氮烘箱,可程式充氮烤箱?是一種提供高溫凈化環境的特殊潔凈烘干設備。箱內空氣封閉自循環。烘箱工作室為光亮型全不銹鋼結構。工作室內溫度采用智能式數顯溫度控制儀進行自動控制P.I.D調節,數顯時間控制,并設有斷路及超溫報警,操作方便,使用安全。 充氮烤箱可滿足電子電器、醫藥、實驗室等生產及科研部門中凈化干燥。特殊要求溫度可達350℃-400℃并且可加裝氮氣進出口。

硅片充氮烘箱,可程式充氮烤箱概述

硅片充氮烘箱,半導體充氮烤箱?是一種提供高溫凈化環境的特殊潔凈烘干設備。箱內空氣封閉自循環。烘箱工作室為光亮型全不銹鋼結構。工作室內溫度采用智能式數顯溫度控制儀進行自動控制P.I.D調節,數顯時間控制,并設有斷路及超溫報警,操作方便,使用安全。 充氮烤箱可滿足電子電器、醫藥、實驗室等生產及科研部門中凈化干燥。特殊要求溫度可達350℃-400℃并且可加裝氮氣進出口。

硅片充氮烘箱,可程式充氮烤箱用途

潔凈烘箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫藥、實驗室等生產及科研部門。

技術參數

Ø  內箱分層:根據箱體內部大小而定

Ø  溫度范圍:RT+10℃~250℃。

Ø  溫度波動:<±1℃。

Ø  溫度均勻:±2%(空載測試)。

Ø  溫控裝置:高精度P.I.D智能溫控儀表, LED數字顯示及設定、P.I.D自動演算、時間定時。

Ø  溫控輸出:SSR輸出,品牌繼電器,固態繼電器。                   

Ø  測溫裝置:PT100 鉑 電阻溫度傳感裝置,測溫精確。

Ø  內室材料:采用無磁性不銹鋼;外箱采用 SS41# 中碳鋼板經磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆,可防止微塵(PARTICLE) 。

Ø  保溫材料:玻璃纖維。

Ø  保護裝置:超溫保護器,無熔絲開關。

Ø  流 量 計:氮氣轉子流量計

 

晶圓充氮潔凈烘箱

一. 概述

充氮潔凈烘箱是一種提供高溫凈化環境的特殊潔凈烘干設備。烘箱整機為不銹鋼結構,全部采用無塵材料,箱內持續充氮,使烘箱工作室內處于潔凈狀態。工作室內溫度由溫控儀自動控制,并有自動恒溫及時間控制裝置,并附設有超溫自動停電及報警電路,控制可靠,使用安全。適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、醫藥、實驗室等生產及科研部門。

二.特點

1、全周氬焊,耐高溫硅膠迫緊,SUS304#不銹鋼電熱產生器,防機臺本身產生微塵;
2、耐高溫,可以達到和工作場所同樣的潔凈等級;

三.技術參數

1、主要技術指標

Ø  溫度范圍: RT(室溫)+10~200℃;

Ø  溫度偏差:≤±2.0℃;

Ø  升溫速度:≥2℃/min;

Ø  潔凈等級:千級以上

Ø  計時功能:具有獨立的計時器,計時開關,計時報警器

 

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